硅片清洗機(jī)不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了超聲波清洗的缺點(diǎn)。兆聲無損清洗機(jī)的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗。在清洗過程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長(zhǎng)為1 m，頻率為0.8 MHZ。在聲波的驅(qū)動(dòng)下，溶液的分子運(yùn)動(dòng)得更快。瞬時(shí)速度可達(dá)30cm/s。因此，無法形成超聲清洗等氣泡。相反，硅片清洗機(jī)只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。

 

　　經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對(duì)消費(fèi)品的質(zhì)量要求也越來越高，等離子技術(shù)隨之逐步進(jìn)入生活消費(fèi)品生產(chǎn)行業(yè)中；另外，科技的不斷發(fā)展，各種技術(shù)問題的不斷提出，新材料的不斷涌現(xiàn)，越來越多的科研機(jī)構(gòu)已認(rèn)識(shí)到等離子技術(shù)的重要性，硅片清洗機(jī)并投入大量資金進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，等離子技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會(huì)越來越廣；技術(shù)的成熟，成本的降低，其應(yīng)用會(huì)更加普及。

 

　　硅片清洗機(jī)的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

 

　　硅片清洗機(jī)有三種方法：

 

　?、偎⑾椿虿料矗嚎沙ヮw粒污染和大多數(shù)粘在片子上的薄膜。

 

　?、诟邏呵逑矗菏怯靡后w噴射片子表面，噴嘴的壓力高達(dá)幾百個(gè)大氣壓。高壓清洗靠噴射作用，片子不易產(chǎn)生劃痕和損傷。但高壓噴射會(huì)產(chǎn)生靜電作用，靠調(diào)節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。

 

　?、鄢暡ㄇ逑矗撼暡暷軅魅肴芤?，靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是，從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段，清洗效果更好。

 

　　硅片清洗機(jī)發(fā)展展望：

 

　　伴隨著硅片的大直徑化，器件結(jié)構(gòu)的超微小化、高集成化，對(duì)硅片的潔凈程度、表面的化學(xué)態(tài)、微粗糙度、氧化膜厚度等表面狀態(tài)的要求越來越高。

 

　　同時(shí)，要求用更經(jīng)濟(jì)的、給環(huán)境帶來更少污染的工藝獲得更高性能的硅片。高集成化的器件要求硅片清洗要盡量減少給硅片表面帶來的破壞和損傷，盡量減少溶液本身或工藝過程中帶來的沾污。

 

　　硅片清洗機(jī)正向著小型化、非盒式化及一次完成化（所有清洗與干燥步驟在一個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行）方向發(fā)展，以減少工藝過程中帶來的沾污，滿足深亞微米級(jí)器件工藝的要求。這無論對(duì)清洗工藝還是對(duì)清洗設(shè)備都是一個(gè)極大的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的清洗方法已不能滿足要求。

 

　　臭氧水、兆聲波、電解離子水等的應(yīng)用顯示出很好的去除硅片表面顆粒和金屬沾污的能力，對(duì)硅片表面微觀態(tài)的影響很小。而且，它們的使用使清洗設(shè)備小型化及清洗工藝一次完成化的實(shí)現(xiàn)成為可能。

 

　　硅片清洗機(jī)特點(diǎn)：

 

　　高能能有效地去除亞微米粒子。

 

　　聲的產(chǎn)生與傳統(tǒng)的超聲空化不同，避免了對(duì)工件的損傷。

 

　　發(fā)電機(jī)配有液晶顯示屏，可對(duì)運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行數(shù)字化顯示。

 

　　發(fā)電機(jī)配有鎖相環(huán)頻率自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)，可與主計(jì)算機(jī)連接，外形設(shè)計(jì)精美。

 

　　安裝方便，可與生產(chǎn)線配套使用。

 

　　硅片清洗機(jī)主要用于：

 

　　1. 液晶顯示，手機(jī)鏡頭，光學(xué)設(shè)備攝像頭鏡頭制造。

 

　　2. 汽車、摩托車制造。

 

　　3.電子、微電子、電子及電子元器件制造業(yè)。

 

　　4、五金、機(jī)械零部件行業(yè)。

 

　　5、航天、航天清洗精密零部件行業(yè)；。

 

　　6、手表、手表、珠寶——制造業(yè)。

 

　　7. 家電制造業(yè)。

 

　　8. 電鍍。

 

　　硅片清洗機(jī)定期保養(yǎng)-每?jī)蓚€(gè)月一次

 

　　1. 定期清除油箱內(nèi)的油垢將延長(zhǎng)發(fā)動(dòng)機(jī)的使用壽命和性能。燃料沉積會(huì)對(duì)燃油管道、燃油過濾器和化油器造成損壞。

 

　　2、當(dāng)不使用高壓清洗機(jī)時(shí)，配合凱徹泵保護(hù)套件保護(hù)您的高壓清洗機(jī)。泵的保護(hù)套是專門為保護(hù)高壓清洗機(jī)免受腐蝕、過早磨損、凍結(jié)等而設(shè)計(jì)的。潤(rùn)滑閥門和密封圈，防止它們粘在一起。

 

　　硅片清洗機(jī)電動(dòng)類型：

 

　　1. 關(guān)閉晶圓清潔器；

 

　　2. 從泵上拆下高壓軟管和伺服噴嘴桿；

 

　　3.將閥門連接到泵的保護(hù)水箱上，打開閥門；

 

　　4. 啟動(dòng)并打開清洗機(jī)，將罐內(nèi)所有物質(zhì)吸進(jìn)泵內(nèi)；

 

　　5、關(guān)閉清洗機(jī)，現(xiàn)在高壓清洗機(jī)可以直接儲(chǔ)存。

 

　　發(fā)動(dòng)機(jī)類型：

 

　　1. 關(guān)閉晶圓清潔器；

 

　　2. 從泵上拆下高壓軟管和伺服噴嘴桿；

 

　　3.將閥門連接到泵的保護(hù)水箱上，打開閥門；

 

　　4、點(diǎn)火時(shí)，拉動(dòng)起動(dòng)繩，將罐內(nèi)所有物質(zhì)放入泵內(nèi)；

 

　　5、現(xiàn)在晶圓清潔器可以直接存儲(chǔ)。